Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILTUnser Leistungsangebot
Die Plasmatechnik ist heute in vielen industriellen Bereichen etabliert. Am Fraunhofer ILT wird sie erforscht und genutzt, um z. B. intensive Quellen für kurzwellige Strahlung im Extremen Ultraviolett und im weichen Röntgenbereich zur Verfügung zu stellen, um kompakte UV-Strahlungsquellen für die Messtechnik aufzubauen, um Anlagen für die Sortierung von Metallschrotten auf Basis der Plasmaspektroskopie zu entwickeln oder um in der Umwelttechnik Abwässer und Abgase per Plasmabehandlung zu reinigen.
Dichte, heiße Plasmen sind von Interesse beispielsweise als Lichtquellen mit Wellenlängen im EUV-Bereich (extremes Ultraviolett). Bei solchen Quellen wird das Plasma durch eine gepulste Entladung elektrisch gespeicherter Energie erzeugt. Im Fokus der Forschung stehen hier u. a. Entladungskonzepte, bei denen Plasmen in Zukunft mit Wiederholrate im Bereich mehrerer Kilohertz bei höherer mittlerer Strahlungsleistung langzeitstabil generiert werden können.
Mögliche Einsatzgebiete von Strahlungsplasmen im Spektralbereich des EUV liegen in der Mikroskopie oder Strukturierung auf Nanometerskala, wie z. B. bei Maskeninspektion in der Halbleiterproduktion, bei der Charakterisierung von Optiken, bei Kontaminationsstudien oder bei der Entwicklung von neuen Fotolacken. Im Bereich der Umwelttechnik entwickelt das Fraunhofer ILT Verfahren zur Abwasserreinigung, die zum Abbau von Schadstoffen eine kombinierte Plasma- und UV-Behandlung nutzen.
Das Leistungsangebot umfasst Machbarkeitsstudien zu kundenspezifischen Aufgabenstellungen, die Entwicklung von neuen Verfahren, Komponenten und Geräten bis hin zu vollautomatischen Systemen sowie individuelle Beratung.
